电子工业
洁净厂房工艺防火措施：
1、设置特种气体、可燃气体及挥发性有机溶剂泄漏报警侦测及安全控制系统。所有特种气体、危险化学品的传送均设有监控，从站房到阀门箱到特种气体的气柜到使用机台都设置了各种可燃、有毒、惰性气体侦测器，同时相应设施的附近环境也设置了侦测器，一旦发生报警，立即启动报警连锁装置、排风机，快速切断上级控制阀门。
2、设置超温、燃烧探测保护装置。在有毒、可燃气体阀门箱与设备接口箱等处设有温度传感器及报警器，当温度在70℃以上持续5S后自动关闭阀门。特种气体气柜内设有火焰探测器，当气柜内有火焰时立即关闭气柜阀门，停止气柜气体供应。
3、部分管道（SiH、BF、20%PH。）采用双层管，外层管抽真空并对其真空度进行监测，阀门箱内设泄漏探头、紧急切断阀和报警连锁装置，各重要设备和地点设有手动紧急按钮。
4、设置过流量关闭装置。当特种气体管线断裂，气体泄漏时，装置启动，关闭特种气体气柜。
5、设置排气装置。排气装置保证特种气体储存气瓶处于负压环境，如出现气瓶储存区有毒（可燃）气体外泄，能及时将泄漏气体排到电子废气处理装置。
6、设置可燃、有毒气体焚烧处理装置。处理装置将工艺设备腔体内反应后的气体进行焚烧处理，确保其中可燃、有毒气体燃烧分解成安全气体后，再经过洁净厂务废气处理装置处理到环保要求标准排放。发生火灾时，气体配送阀门切断，工艺设备中、洁净厂房内管路中的特种气体吸入到电子废气处理装置，在等离子状态下将特种气体焚烧成无毒的气体排出。
7、在火灾危险性较大的气柜内设自动喷水灭火系统。在NH、PH、SiH气柜内设置自动喷水灭火系统，当气柜内部温度超过68℃时，自动喷水系统动作。
8、对特种气体管线、阀门设置安全防护措施。在系统设计上对特种气体管线、阀门等采取了有效的防护措施，以免发生意外碰撞导致管线或阀门破损。管线方面，在有人员可能到达的区域对特种气体管线周边设置防护网、警示标志等，禁止人员触碰；阀门方面，所有阀门均设置在箱体中，只有专业工程师才有权限开启。
浙公网安备 33030202001777号
