谈谈我国净化工程有哪些需求与使用间的范围
2015-11-23 16:03:14

洁净室属于净化工程的范围，通过设备和设施对某些特定空间进行：温度、湿度、风量、压差、洁净度、沉降菌、浮游菌等项目的调整控制，使其满足一定的标准的工程 .如楼主的洁净室有前叙要求即为净化工程。

净化工程在规定的空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、更。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，净化工程但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。

例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，净化工程特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不要超出25度。

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